VEGA鎢燈絲掃描電鏡

LaB6發(fā)射源

TESCAN能提供介于肖特基與鎢燈絲性能之間的LaB6(六硼化鑭)作為電子發(fā)射源。LaB6的優(yōu)勢包括：穩(wěn)定的電子發(fā)射源(與場發(fā)射電子源相比)，在陰極較低溫度下可獲取比較高的束流(與鎢燈絲電子源相比)。這就意味著在整個范圍的加速電壓和很長的使用壽命中，LaB6可以保持很高的亮度和分辨率?；谄浞浅８叩陌l(fā)射電流，LaB6是需要大電子束流應(yīng)用領(lǐng)域的正確選擇。

現(xiàn)代電子光路

*的四透鏡大視野光路設(shè)計提供各種各樣的工作與顯示模式

以電磁的方式改變物鏡光闌——中間鏡的作用如同"光闌轉(zhuǎn)換器"

透鏡與線圈的優(yōu)質(zhì)材料使成象率達到20ns/像素，并減少了動態(tài)扭曲效應(yīng)

結(jié)合了*的電子光學(xué)設(shè)計軟件的實時電子束追蹤(In-Flight Beam Tracing™)，可模擬和優(yōu)化電子束

鏡筒設(shè)計提供了全自動電子光路設(shè)置，鏡筒不含機械對中結(jié)構(gòu)

3維電子束技術(shù)提供了實時立體圖像

檢修方便

只要很短的停機檢查后就能保持電鏡長時間處于較好狀態(tài)。每個細節(jié)設(shè)計得很仔細，使得儀器的效率大化，操作簡化。

自動操作

通過一次點擊就可以進行自動燈絲加熱和電子槍對中。眾多的自動程序減少了用戶的操作時間，并提供了操作的自動導(dǎo)航與自動化分析。通過內(nèi)置腳本語言(Python)用戶可以進入軟件大多數(shù)功能，包括電鏡控制、樣品臺導(dǎo)航、圖像采集、處理與分析。通過腳本語言用戶也可以自定義軟件的自動操作。

用戶界面友好的軟件

用戶界面有各種語言版本

多用戶界面(包括了EasySEMTM模式)不同賬戶的權(quán)利使常規(guī)分析過程更快

圖像文件管理與報告生成

內(nèi)置的自動系統(tǒng)檢查

通過局域網(wǎng)或互聯(lián)網(wǎng)可實現(xiàn)電鏡遠程診斷

模塊化軟件體系結(jié)構(gòu)

VEGA鎢燈絲掃描電鏡標(biāo)準(zhǔn)的軟件模塊包括了：測量工具、圖像處理、對象區(qū)域等

選配軟件包括了：顆粒度分析、三維表面重構(gòu)等