光纖器件無塵車間空氣凈化系統(tǒng)要求:

光單元生產(chǎn)車間溫度宜保持在15度～28度，相對(duì)濕度宜保持在40%～70%。

光柵光刻車間潔凈度不應(yīng)低于7級(jí)，平面波導(dǎo)型光纖耦合器耦合車間潔凈度不應(yīng)低于8級(jí)，其他光單元生產(chǎn)車間應(yīng)為清潔廠房。

生產(chǎn)廠房潔凈區(qū)空氣潔凈等級(jí)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)環(huán)境要求確定。

空氣凈化系統(tǒng)宜采用上送測(cè)回或上送上回的送回風(fēng)方式。

生產(chǎn)中產(chǎn)生有害氣體的工藝或設(shè)備應(yīng)部排風(fēng)或凈化裝置。

光纖廠房的生產(chǎn)環(huán)境應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝的要求，各生產(chǎn)房間的潔凈度等級(jí)和溫度、相對(duì)濕度應(yīng)按本規(guī)范表4．1．5的規(guī)定取值。

新風(fēng)宜集中進(jìn)行空氣凈化處理，新風(fēng)機(jī)組風(fēng)機(jī)應(yīng)變頻控制，并應(yīng)設(shè)置壓差報(bào)警。

新風(fēng)機(jī)組冷凍水供回溫度宜為6℃～12℃，循環(huán)機(jī)組冷凍水供回溫度宜為10％～16℃；加熱盤管宜采用熱水為熱媒。

初效、中效、高效三級(jí)空氣過濾器可布置在空氣處理機(jī)組內(nèi)。

拉絲間凈化空調(diào)的氣流組織應(yīng)符合下列要求：

   1 拉絲間凈化空調(diào)宜分層設(shè)置風(fēng)口，每層宜采用上送下回的方式；頂層可采用側(cè)送上回的方式。

   2 當(dāng)拉絲塔設(shè)備配置了封閉的高潔凈度的凈化空氣循環(huán)系統(tǒng)時(shí)，宜采用分層側(cè)送側(cè)回方式。

在確定拉絲間凈化空調(diào)系統(tǒng)的送風(fēng)量時(shí)，應(yīng)計(jì)算每層工作平臺(tái)的工藝設(shè)備發(fā)熱量。

拉絲塔設(shè)備的紫外固化裝置送、排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)符合下列要求：

   1 送風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)獨(dú)立設(shè)置，不得抽取室內(nèi)凈化空調(diào)空氣作為送風(fēng)，空調(diào)器內(nèi)可設(shè)置表冷盤管、加熱盤管以及初效、中效及亞高效空氣過濾器，送風(fēng)機(jī)組的風(fēng)機(jī)壓頭應(yīng)計(jì)算工藝設(shè)備內(nèi)部阻力；送風(fēng)風(fēng)管應(yīng)核算風(fēng)管承壓能力。

   2 排風(fēng)系統(tǒng)可高空排放。

   3 熱排風(fēng)風(fēng)管應(yīng)采用耐高溫耐高壓的材料。

   4 涂覆揮發(fā)物排風(fēng)風(fēng)管應(yīng)采用耐腐蝕的材料。

拉絲間應(yīng)設(shè)置排煙設(shè)施。

相關(guān)規(guī)范：

GB 50472-2008 電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范

GB 51123-2015光纖器件生產(chǎn)廠工藝設(shè)計(jì)規(guī)范

GB 50073-2013 潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范

GB 51110-2015 潔凈廠房施工及質(zhì)量驗(yàn)收規(guī)范

GB 50019-2015 工業(yè)建筑供暖通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)設(shè)計(jì)規(guī)范

GB 50243-2016通風(fēng)與空調(diào)工程施工質(zhì)量驗(yàn)收規(guī)范

GB 50016—2014（2018年版）建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范