SF-1U，SF-2U，流量顯示模塊

顯示

LCD 6位數字式顯示(切換顯示檢測流量?檢測時間?溫度?設定氣壓等)

自動測量功能

通過AUTO模式進行2?10次的自動測量以及平均值計算(可以調出上次存儲數據 　通過電源OFF消除電源)

使用環(huán)境溫度

5?40℃ 精度的確保范圍(15?30℃)

外部輸入輸出

以RS-232C 為準

電源

AC適配器ー(DC7Ｖ)驅動

VP-1U，流量測量模塊

流量檢測范圍

0.2?10mL/min

精度

0.5%(±1%)0.2?2mL/min(2?10mL/min)

對象氣體

N2、空氣、O2、H2、He、Ar、CO、CH4、C3H8等 注)水溶性氣體?腐蝕性氣體不能檢測

使用環(huán)境溫度

5?40℃　精度的確保范圍(15℃?35℃)

外部輸入輸出

以RS-232C為準

VP-2U，流量測量模塊

流量檢測范圍

2?100mL/min

精度

0.5%(±1%)2?20mL/min(20?100mL/min)

對象氣體

N2、空氣、O2、H2、He、Ar、CO、CH4、C3H8等 注)水溶性氣體?腐蝕性氣體不能檢測

使用環(huán)境溫度

5?40℃　精度的確保范圍(15℃?35℃)

外部輸入輸出

以RS-232C為準

VP-3U，流量測量模塊

流量檢測范圍

20?1000mL/min

精度

0.5%(±1%)20?200mL/min(200?1000mL/min)

對象氣體

N2、空氣、O2、H2、He、Ar、CO、CH4、C3H8等 注)水溶性氣體?腐蝕性氣體不能檢測

使用環(huán)境溫度

5?40℃ 精度的確保范圍(15℃?35℃)

外部輸入輸出

以RS-232C為準

VP-4U，流量測量模塊

流量檢測范圍

0.2?10 L/min

精度

0.5%(±1%)0.2?1 L/min(1?10 L/min)

對象氣體

N2、空氣、O2、H2、He、Ar、CO、CH4、C3H8等　注)水溶性氣體?腐蝕性氣體不能檢測

使用環(huán)境溫度

5?40℃精度的確保范圍(15℃?35℃)

外部輸入輸出

以RS-232C為準