大晃開發(fā)的*形狀的螺桿（），它低速轉(zhuǎn)動連續(xù)排氣，真空度可達(dá)到１０-1Pa，它可稱為是劃時(shí)代的干式真空泵。 單級結(jié)構(gòu)簡單，易于保養(yǎng)和維修，在排除凝聚性氣體，腐蝕性氣體和反應(yīng)生成物的半導(dǎo)體工藝中以及在硅單晶制造的抽真空等領(lǐng)域也發(fā)揮著威力。
排気速度 ： １０００～７８０００ L/min
到達(dá)真空度 ： １０-1 Pa
口 徑 ： Φ４０～ Φ２００ mm
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