| 參考價(jià) | 面議 |
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
400℃晶圓片真空烘箱，快速升降溫高溫真空充氮烘箱
本產(chǎn)品適用于半導(dǎo)體、電子產(chǎn)品、五金制品、醫(yī)療衛(wèi)生、儀器儀表、工廠、高等院校、科研等部門作無(wú)氧化干燥、脫泡、固化、焊接、退火等高溫處理。
| 型號(hào) | VOD-90 | VOD-210 | VOD-216 | |
| 真空度 | ≤10 pa | |||
| 電源 | AC380V 3φ 50HZ | |||
| 功率（KW） | 12 | 18 | 20 | |
| 工作環(huán)境溫度 |
| |||
| 性能 | 溫度范圍 | RT+10℃～450℃ | ||
| 升溫時(shí)間 | 2 ℃/minute～4 ℃/minute | |||
| 降溫時(shí)間 | 2 ℃/minute～4 ℃/minute (400℃降至100℃,客戶需配冷卻塔) | |||
| 結(jié)構(gòu) | 外殼 | 冷扎碳鋼板，經(jīng)防銹處理后靜電噴塑，耐劃傷 | ||
| 內(nèi)膽 | 5mm厚，SUS304不銹鋼，不銹鋼內(nèi)外表面拋光 | |||
| 保溫材料 | 厚度150毫米硅酸保溫棉，保溫性能良好 | |||
| 箱門 | 真空密封緊迫;門縫自帶高溫保護(hù).(高溫狀態(tài)下使用,為耗品,建議2-3個(gè)月更換一次) | |||
| 真空泵 | LEYBOLD真空泵.(客戶可自行購(gòu)真空泵,或者制定真空泵型號(hào)); | |||
| 加熱系統(tǒng) | 四面輻射加熱 | |||
| 電器系統(tǒng) | 系統(tǒng)采用PLC控制,加熱啟停、冷卻啟停、真空泵啟停、充氮?dú)鈫⑼＃?nbsp; | |||
| 溫控輸出 | SSR輸出，歐姆龍繼電器，固態(tài)繼電器 | |||
| 安全保護(hù) | 加熱電流過(guò)流、系統(tǒng)短路保護(hù)、電壓過(guò)壓保護(hù)、真空泵過(guò)負(fù)載、 缺相保護(hù)、電爐超溫報(bào)警等功能 | |||
| 內(nèi)容積（L）） | 91 | 215 | 252 | |
| 內(nèi)部尺寸（㎜） | W450×D450×H450 | W560×D640×H600 | W700×D600×H600 | |
| 外部尺寸（㎜） | W800×D800×H1715 | W910×D990×H1865 | W1050×D950×H1865 | |
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