臭氧幾乎對所有病菌、病毒、毒菌、真菌及原蟲、卵囊都具有明顯的滅活效果，且滅菌迅速無比，是氯的300-600倍，紫外線的3000倍。臭氧的滅菌機理，Roy等研究報告，臭氧可破壞病毒衣殼蛋白的四條多肽鏈并使RNA受到損傷；Klm等報告，臭氧作用過程中，可使噬菌體中RNA被釋放，電鏡觀察可見噬菌體被撕裂成小的碎片。臭氧可與細菌細胞壁脂類雙鍵反應(yīng)，穿八菌體內(nèi)部，作用于脂蛋白和脂多糖，改變細胞的通性，從而導致細菌溶解和死亡。

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