（1）防止真空油逆流系統(tǒng)：真空泵氣體進口裝有單向閥，氣體只能如圖示方向進入真空泵,如果突然停電，不會因為外界氣壓高于真空系統(tǒng)內氣壓，將真空油反壓回真空系統(tǒng)的腔室內，防止油污染樣品，真空泵停止過后自動反填純凈氣體，保護真空泵。（2）油霧過濾系統(tǒng)：A）過濾油霧，回收油，避免污染; B）降低真空泵的工作噪音。（3）油水分離裝置：真空泵內部裝有油水分離裝置，少數(shù)抽入真空泵的水或其它溶劑被分離、蒸發(fā)，隨氣振閥排出泵體外因此真空泵工作上 幾個月后，應該打開氣振閥，無樣品的情況下，抽一段真空系統(tǒng)，以便油水分離裝置排出水汽。